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超纯水处理设备的技术及其应用管材

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超纯水处理设备整体介绍

  跟着电子工业的发展,在芯片的出产加工过程中,关于水质的请求也越来越高。为了确保出产出超大规模的集成电路,除高纯原材料、高纯气体、高纯化学药品外,高纯水也是其间最要害的要素之一。高纯水体系是将通常的市政用水处理成对不一样离子的含量和颗粒度都有很高请求的超纯水。超纯水体系整体来说通常可分为三个有些:超纯水制作区(CUB有些)、超纯水抛光循环区(FAB有些)、超纯水运送管网(FAB各运用区)。其间超纯水制作区最为复杂,其又可分为:预处理、一次纯水处理、超纯水处理三个有些。
  预处理有些首要包含:沙滤、活性碳塔(有的厂商在沙滤前还增设反响槽、气浮池)。一次纯水处理有些首要包含:阴阳离子交换塔、脱气塔(DG)、保安过滤器、紫外线杀菌器及多级反渗透。超纯水处理有些首要包含:MDG(脱氧膜组)、TOC-UV杀菌器、混床(MB)及终端过滤器。考虑到在向技术设备运送高纯水过程中,输水管道会对水质再次形成污染,因而在FAB内通常都设立抛光循环体系。抛光循环体系首要以MB为中心,再加上超滤设备(UF),以除掉在向技术出产线运送纯水的过程中,管网溶入水中的杂质。

超纯水处理设备

  超纯水体系中各期间常用管材

  在超纯水体系中管材的选用也非常重要,既要能做到确保水质、又应当做到经济合理。超纯水体系中常用管材首要包含:PVC、SGP、SGP(RL)、 SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。通常在超纯水制作区预处理期间多选用PVC管或SUS304管。设备面管通常选用内衬胶钢管 (SGPRL),关于水泵等发生震动的动力设备周边选用SUS304管。在一次纯水期间主流程选用CPVC管或SUS304管。高压泵与反渗透(RO)之间,因为压力高所以有必要选用SCH80的SUS304管及耐压2.0MPa级的法兰。因为RO对水温有必定的请求,因而通常在RO之前有热交换器,其周边也应当选用SUS304管。

超纯水处理设备

 在超纯水制作期间,主流程通常应选用SUS316管和CPVC管。抛光循环区主流程通常选用SUS316管(焊接衔接,并请求双面成型)和PVDF管,超纯水收回管道选用CPVC管。在以上水处理各期间废水排放管道均选用通常PVC管。在纯水制作过程中酸碱等加药管线,应选用耐冲击PVC管。纯水体系中运用的氮气体系选用SUS304管,超纯水抛光体系所用氮气管道选用SUS316管。压缩空气体系在纯水体系中作为气动阀开关动力,通常选用SUS304 管或SGP管,当选用SGP管时进入电气盘前需加过滤器。

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